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技術(shù)交流

等離子體處理機(jī)的水平電極設(shè)計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2020/6/3 8:15:15 | 信息來(lái)源:
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1.表面等離子體波是在兩種界面附近存在的波,界面兩側(cè)的折射率分布對(duì)場(chǎng)分布有很大的影響,利用這一點(diǎn)能夠進(jìn)行傳感。目前利用Kretschmann結(jié)構(gòu)進(jìn)行生物傳感的技術(shù)已經(jīng)得到了極大的發(fā)展,這種傳感技術(shù)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,靈敏度高,檢測(cè)過(guò)程中無(wú)需標(biāo)記物,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品結(jié)合過(guò)程,傳感芯片可重復(fù)利用,響應(yīng)速度快等諸多特點(diǎn)。目前該技術(shù)可用于氣體、 液體和有機(jī)薄膜等分析,目前主要用于生命科學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域。目前市場(chǎng)上主要產(chǎn)品有瑞典Biocore AB公司生產(chǎn)的Biocore 3000等。

表面等離子體技術(shù)應(yīng)用

2.
表面等離子體波具有局域分布的特性,而且其分布深度可小于波長(zhǎng)量級(jí),突破衍射極限,使得表面等離子體波能夠應(yīng)用于制作亞波長(zhǎng)量級(jí)的光電子器件的生產(chǎn),有利用光電子集成器件的制作。例如:可以制作亞波長(zhǎng)量級(jí)的波導(dǎo),亞波長(zhǎng)量級(jí)的布拉克反射鏡,亞波長(zhǎng)量級(jí)的透鏡等。由于能夠突破極限,所以能夠應(yīng)用表面等離子體效應(yīng)來(lái)做近場(chǎng)顯微鏡,做曝光等等。

3.
表面等離子體波在太陽(yáng)能電池和LED等新型能源相關(guān)器件方面的應(yīng)用。目前可以在太陽(yáng)能電池上利用表面等離子體效應(yīng)來(lái)提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率,同樣也可以在LED上應(yīng)用表面等離子體效應(yīng)提高其出光效率。如果能研制出商業(yè)化的產(chǎn)品,那么對(duì)于解決人類(lèi)的能源問(wèn)題,表面等離子體波也能貢獻(xiàn)自己的一份力量。等離子清洗機(jī)和超聲波清洗機(jī)是目前清洗工藝比較好的兩種設(shè)備,在使用等離子清洗機(jī)都過(guò)程中,等離子清洗機(jī)的物理化學(xué)作用有哪些?
 
1)對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
 
2)激活鍵能,交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
 
3)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用
如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。大氣等離子體處理機(jī)對(duì)HDI,柔性和剛性電路板制造進(jìn)行了去污和回蝕作業(yè)。它結(jié)合了市場(chǎng)領(lǐng)先的等離子技術(shù),結(jié)合基于多年經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用特定開(kāi)發(fā)。

   
可擴(kuò)展等離子體系統(tǒng),可以從48個(gè)等離子體電池升級(jí),隨著生產(chǎn)要求和操作而增長(zhǎng),是處理低容量,高混合物產(chǎn)品的中小型企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)的理想選擇,旨在滿(mǎn)足不斷變化的生產(chǎn)環(huán)境,等離子體系統(tǒng)在其前身PCB-800/1600及其同時(shí)代系統(tǒng)之間保持了完美的平衡。該室仍然是純粹的PCB系列”的尺寸和功能,但其他一切都已升級(jí)系列技術(shù) ,從氣體分配和泵包到用戶(hù)界面和控制參數(shù)。通過(guò)共享類(lèi)似的組件和接口,可以更輕松地提高等離子體處理PCB面板的容量。系統(tǒng)可以處理低容量,高混合度的產(chǎn)品,是中小型企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)的理想選擇。隨著生產(chǎn)量的增加,系統(tǒng)可以從四個(gè)等離子體電池升級(jí)到*多八個(gè)等離子體電池。

   
與其他系列等離子體系統(tǒng)類(lèi)似,是獨(dú)立的,需要*小的占地面積。底盤(pán)裝有等離子體室,控制電子設(shè)備,40 kHz射頻發(fā)生器,泵/鼓風(fēng)機(jī)組合和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)??梢詮那懊姘寤蚝竺姘暹M(jìn)行維護(hù)檢修。

   
等離子體室由優(yōu)質(zhì)鋁制成,具有出色的耐用性。該腔室設(shè)計(jì)用于在單獨(dú)的等離子體電池中處理PCB面板,以提供具有優(yōu)異處理均勻性的高蝕刻速率。

 
等離子體處理系統(tǒng)

   
大氣等離子體處理機(jī)使用單步過(guò)程提供了柔性材料兩側(cè)的業(yè)界領(lǐng)先的等離子體處理均勻性。它是一個(gè)獨(dú)立的真空等離子體處理系統(tǒng),具有節(jié)省空間的緊湊型底盤(pán),具有兩個(gè)易于訪問(wèn)的前裝載門(mén)。雙機(jī)架等離子體室可在一個(gè)周期內(nèi)容納多達(dá)十八個(gè)20x 24”面板,每小時(shí)可達(dá)80-120個(gè)單位(UPH)。FlexVIA系統(tǒng)的先進(jìn)的水平電極設(shè)計(jì),集成了機(jī)架,可提供等離子體處理均勻性的*佳材料對(duì)準(zhǔn)。它也不需要使用昂貴的氟氣。相反,利用環(huán)境友好且具有成本效益的氣體等離子體溶液如氬氣(Ar)和氧氣(O2)。

   
等離子體處理系統(tǒng)其先進(jìn)的水平電極設(shè)計(jì),集成了機(jī)架,提供了*佳的材料對(duì)準(zhǔn),而雙機(jī)架式機(jī)箱可以在一個(gè)周期內(nèi)容納多達(dá)三十個(gè)20x 24”的面板,使每小時(shí)可達(dá)140-200單位。是一種完全獨(dú)立的真空處理系統(tǒng),具有集成的卷對(duì)卷材料處理,用于生產(chǎn)PCB制造環(huán)境。等離子體處理均勻性是表面激活,去除和回蝕應(yīng)用中柔性電路板制造技術(shù)的關(guān)鍵操作特性。集成的卷對(duì)卷材料處理系統(tǒng)確保精確控制薄至25微米的基材的輥速度,張力和邊緣引導(dǎo)?;诠鈱W(xué)的邊緣引導(dǎo)檢測(cè)允許在倒帶操作期間可靠的控制。底板加載簡(jiǎn)單,可通過(guò)四個(gè)門(mén)輕松訪問(wèn)裝載部分。有三種配置可滿(mǎn)足各種生產(chǎn)需求。

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