等離子技術(shù)針對(duì)電子元器件的防腐蝕涂層
對(duì)電子器件和組件提供有選擇性防腐蝕保護(hù)以應(yīng)對(duì)氣候的影響對(duì)于各類產(chǎn)品的可靠性至關(guān)重要?，F(xiàn)代轎車上的所有缺陷，幾乎一半是由于氣候引起的老化和電子元器件發(fā)生的腐蝕損害而造成的。即便是在極端溫度條件下，對(duì)濕度、化學(xué)物質(zhì)和有害氣體進(jìn)行防護(hù)，是避免這樣的系統(tǒng)故障的必不可少的先決條件。

當(dāng)前，主要是通過油漆、樹脂或凝膠（硅）涂層來滿足這些要求。然而，這些工藝的應(yīng)用費(fèi)力而又費(fèi)時(shí)，在經(jīng)濟(jì)上和環(huán)保上都表現(xiàn)出局限性。通常使用的溶劑型涂層系統(tǒng)相對(duì)較厚且很難進(jìn)行涂層區(qū)域選擇。根據(jù)具體的保護(hù)涂層種類，可能還會(huì)出現(xiàn)如散熱不良、吸收水分、涂層脫落或傳感器信號(hào)衰減等缺陷。

而利用等離子技術(shù)，可有效沉積超薄、透明和絕緣的防老化等離子聚合涂層，并有選擇性的保護(hù)電子器件，特別是印刷電路板。該涂層高效的防護(hù)阻隔作用，不僅會(huì)延長(zhǎng)產(chǎn)品的壽命、提高產(chǎn)品的安全性，還將顯著降低成本。1)經(jīng)過等離子處理以后，被清洗物體已經(jīng)很干燥，不必再經(jīng)干燥處理；
(2)不使用有害溶劑，不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方法；
(3)用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體方向性不強(qiáng)，可以深入物體的微細(xì)孔眼和凹陷內(nèi)，特別適合用于線路板生產(chǎn)中盲孔以及微小孔的清洗；
(4)整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘內(nèi)即可完成，具有效率高的特點(diǎn)；
(5)等離子清洗的*大技術(shù)特點(diǎn)是：它不分處理對(duì)象，可處理不同的基材；如金屬、半導(dǎo)體、氧化物以及高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、據(jù)四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物等離子表面處理機(jī))等都可用等離子處理；
(6)在使用等離子清洗時(shí)，去污的同時(shí)，還能改變材料本身的表面性能，如提高表面的潤(rùn)濕性能，改善膜的附著力等。

3.1等離子灰化表面有機(jī)層
基材表面受到化學(xué)轟擊如下圖所示：
在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)，污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出。而線路板在生產(chǎn)過程中搬用時(shí)，在基材表面難免會(huì)沾上一些汗?jié)n、油污等污染物，有些污染物使用普通的線路板生產(chǎn)除油劑很難去除，而使用等離子處理能夠很好地達(dá)到除去這些有機(jī)污染物的效果。

3.2等離子蝕刻基材表面
在等離子蝕刻過程中，通過處理氣體的作用，被蝕刻物會(huì)變成氣相。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋，從而達(dá)到蝕刻的目的
在線路板的生產(chǎn)中，等離子蝕刻主要用來對(duì)基材表面進(jìn)行粗化，以增強(qiáng)鍍層與基材的結(jié)合力。在下一代較為先進(jìn)的封裝技術(shù)——化學(xué)鍍鎳磷制作埋嵌電阻工藝研究中，等離子蝕刻能夠?qū)?span>FR-4或是PI表面進(jìn)行粗化，從而增強(qiáng)FR-4、PI與鎳磷電阻層的結(jié)合力。
化學(xué)鍍鎳磷制作埋嵌電阻工藝有以下六個(gè)主要工藝步驟：
(1)使用傳統(tǒng)的生產(chǎn)工藝方法制作出所需的線路圖形；
(2)使用等離子體蝕刻對(duì)基材表面進(jìn)行粗化；
(3)然后對(duì)使用鈀活化的方法對(duì)基材表面活化；
(4)進(jìn)行貼干膜、曝光顯影，把需要制作電阻的地方顯影出來；
(5)緊接著使用化學(xué)鍍鎳磷的方法進(jìn)行埋嵌電阻的制作；
(6)*后，退去干膜。
通過實(shí)驗(yàn)研究可知，通過等離子處理的基材表面電阻層的結(jié)合力更好。特別是需要在PI基材上進(jìn)行埋嵌電阻的制作時(shí)，等離子處理的效果更好。并且使用等離子處理過的基材表面具有一定的活化官能團(tuán)，從而有助于制作埋嵌電阻的化學(xué)反應(yīng)。制作電阻層，經(jīng)過等離子處理的基材表面，在經(jīng)過退膜工序后，鎳磷電阻層與基材表面的結(jié)合力完好無損；而沒有經(jīng)過等離子處理的基材表面，在經(jīng)過退膜工序后，鎳磷電阻層不能與基材很好的結(jié)合，電阻層幾乎全部脫落。

3.3等離子清洗機(jī)微小孔作用
常壓等離子處理機(jī)隨著HDI板孔徑的微小化，傳統(tǒng)的化學(xué)清洗工藝已不能滿足盲孔結(jié)構(gòu)的清洗，液體表面張力使藥液滲透進(jìn)孔內(nèi)有困難，特別是在處理激光鉆微盲孔板時(shí)，可靠性不好。目前應(yīng)用于微埋盲孔的孔清洗工藝主要有超生波清洗和等離子體清洗，超聲波清洗主要依據(jù)空化效應(yīng)來達(dá)到清洗的目的，屬于濕法處理，清洗時(shí)間較長(zhǎng)，且依賴于清洗液的去污性能，增加了對(duì)廢液的處理問題?，F(xiàn)階段普遍應(yīng)用的工藝主要為等離子體清洗工藝，等離子體處理工藝簡(jiǎn)單，對(duì)環(huán)境友好，清洗效果明顯，針對(duì)盲孔結(jié)構(gòu)非常有效。

等離子體清洗是指高度活化的等離子體在電場(chǎng)的作用下發(fā)生定向移動(dòng)，與孔壁的鉆污發(fā)生氣固化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)生成的氣體產(chǎn)物和部分未發(fā)生反應(yīng)的粒子被抽氣泵排出。等離子體在HDI板盲孔清洗時(shí)一般分為三步處理，第一階段用高純的N2產(chǎn)生等離子體，同時(shí)預(yù)熱印制板，使高分子材料處于一定的活化態(tài)；第二階段以O2、CF4為原始?xì)怏w，混合后產(chǎn)生O、F等離子體，與丙烯酸、PI、FR4、玻璃纖維等反應(yīng)，達(dá)到去鉆污的目的；第三階段采用O2為原始?xì)怏w，生成的等離子體與反應(yīng)殘余物使孔壁清潔。在等離子清洗過程中，除發(fā)生等離子化學(xué)反應(yīng)，等離子體還與材料表面發(fā)生物理反應(yīng)。等離子體粒子將材料表面的原子或附著材料表面的原子打掉，有利于清洗蝕刻反應(yīng)。近幾年來等離子平面屏幕技術(shù)支持下的PDP真可謂是如日中天，它是未來真正平面電視的*佳候選者。其實(shí)等離子顯示技術(shù)并非21世紀(jì)才有的新技術(shù)，早在1964年美國(guó)伊利諾斯大學(xué)就成功研制出了等離等離子體,等離子體子顯示平板，但那時(shí)等離子顯示器為單色?，F(xiàn)在等離子平面屏幕技術(shù)為*新技術(shù)，而且它是高質(zhì)圖象和大純平屏幕的*佳選擇。大純平屏幕可以在任何環(huán)境下看電視，等離子面板擁有一系列象素，同時(shí)這些象素又包含有三種次級(jí)象素，它們分別呈紅、綠色、藍(lán)色。在等離子狀態(tài)下的氣體能與每個(gè)次象素里的磷光體反應(yīng)，從而能產(chǎn)生紅、綠或藍(lán)色。這種磷光體與用在陰極射線管(CRT)裝置(如電視機(jī)和普通電腦顯示器)中的磷光體是一樣的，你可以由此而得到你所期望的豐富有動(dòng)態(tài)的顏色，每種由一個(gè)先進(jìn)的電子元件控制的次象素能產(chǎn)生16億種不同的顏色，所有的這些意味著你能在約不到6英寸厚的顯示屏上更容易看到*佳畫.